電子級超純水與普通超純水的區別
項目 | 電子級超純水 | 普通超純水 |
應用領域 | 電子行業和半導體行業 | 實驗室分析、工業生產或工業清洗 |
滿足國家標準 | GB/T11446.1-2013電子級水國家標準 | GBT6682-2008分析實驗室用水國家標準和GBT33087-2016儀器分析用高純水規格及試驗方法 |
電子級EW-I和超純水I級 | 電阻率≥18MΩ.cm(5%的時間不低于17) | 電阻率≥10MΩ.cm |
電子級EW-II和超純水II級 | 電阻率≥15MΩ.cm(5%的時間不低于13) | 電阻率1-10MΩ.cm之間 |
全硅(ug/L) | 電子級I級≤2ppb 電子級I級≤10ppb | I級≤10ppb II級≤20ppb |
微顆粒(個/L) | 電子級I級:對各種粒徑具有要求,如?0.2-0.3μm≤50個/L,?0.3-0.5μm≤20個/L,?0.5μm以上≤4個/L | 不做具體要求 |
細菌個數(個/ml) | 電子級I級≤0.01個 電子級II級≤0.1個 | 視不同用途,不同的要求,符合客戶需求即可 |
金屬離子含量(ppb) | 電子級I級:對(銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛)都有具體的要求,且要求高,需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb | 超純水I級:只有鈉離子≤1ppb有要求,其他無具體要求 |
非金屬離子含量(ppb) | 電子級I級:對(氟、氯、亞硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根)都有具體的要求,需要控制到≤1ppb | 超純水I級:僅對氯離子有要求需要控制到≤1ppb |
TOC值 | 電子級I級≤20ppb 電子級I級≤100ppb | 超純水I級≤50ppb |
說明:綜上所述,電子級超純水I級對微顆粒、TOC值、細菌要求高,因此對電子級超純水設備的管道要求高一般需要采用CLear-PVC或者PVDF材質,以及需要配專門的降TOC的消解器
卓水越電子級超純水系統
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